供稿：奥地利SensorDynamics公司 Michael Kandler

摘要：微机械角速度传感器是目前市场上能够进行批量生产的最复杂的传感器之一。它由在真空中做复杂运动的惯性质量块和驱动该设备、分析其响应的多种复杂电路组成，并集中于一个在极狭小的空间内。本文介绍了由奥地利SensorDynamics公司成功研制的一种MEMS角速率传感器，可以满足现代应用的全部要求，尤其是汽车工业所要求的小尺寸、坚固的机械结构、长期稳定性、不受限制的故障自动防护性和AEC-Q100认证。

本文由奥地利SensorDynamics公司提供，本刊编辑翻译。作者Michael Kandler博士在弗劳恩霍夫研究所获得博士学位，主要致力于表面微机械集成压力传感器的研究。自2007年开始担任SensorDynamics公司惯性传感产品的研发经理，主要为汽车和工业消费者提供技术支持，开展关于零失误安全的MEMS传感器的研讨，并与公众保持良好的关系。有关信息咨询请电邮：vcl@sensordynamics.cc

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