作者：田立强  潘国峰   赵彦晓  王静   孙以材

单位：田立强：河北工业大学在读硕士 邮编：300130

           潘国锋：河北工业大学硕士

      赵彦晓：河北工业大学硕士

      王静：河北工业大学硕士

      孙以材：河北工业大学教授、博士生导师 

文献标识码：A   

文章编号：1006-883X（2002）07-0007-04

摘要：综述了TiO2氧敏传感器的发展概况、氧敏机理，并对以不同方法制备的TiO2氧敏器件性能进行了比较，分析了如何提高氧传感器的性能，并对TiO2氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。

关键词：氧敏传感器、薄膜、TiO2、制备方法、发展

Research and Development of the Oxygen Sensors with TiO2 Thin Films

Abstract   This paper briefly describes the development of TiO2 gas sensors and its oxygen -sensing mechanism.  The different characteristics of  oxygen sensors based on different TiO2 thin film preparing methods and how to improve them are discussed. Some suggestions for the further research and development of TiO2 oxygen sensors are proposed.

key words: Oxygen Sensors ，Thin Films，TiO2  Preparation Methods，Development

阅读全文

备注：2002年第8卷第7期