【公开号】CN206540633U
【公开日】2017.10.03
【分类号】G01J9/02
【申请日】2017.01.13
【申请人】杭州晶耐科光电技术有限公司
【发明人】曹频
【摘   要】本实用新型公开了一种基于随机编码混合光栅的可变剪切率的波前传感器。本实用新型包括由振幅光栅和相位光栅所组成的随机编码混合光栅，CCD及机械调节装置。待测波前经光栅后衍射产生四个子波，产生的四波前干涉图由CCD接收。技术特点是实现了剪切率随光栅与CCD之间距离改变而连续变化，使波前传感器通用性更强。横向剪切干涉中，剪切率选取小检测精度高，但灵敏度低，剪切率过大则精度下降，因此在检测中实现任意剪切率选择具有重要意义。本实用新型基于共路横向剪切干涉原理，无额外参考光路，抗干扰能力强，抗震性好，稳定性高，能在一般的环境中实现高精度检测。

备注：2018年 第24卷 第01期