据来自通用电气传感检测科技（上海）有限公司消息，GE检测控制技术业务旗下压力传感技术部门最新发布新型沟槽刻蚀谐振式(TERPS)压力传感器技术平台RPS8000，在显著提高与传统谐振压力技术相关的压力测试范围的能力的同时，提供10倍于现有的压阻式压力传感器的精度和稳定性。

因为采用了单晶硅结构的力学特性，谐振硅压力传感器比压阻式以及许多其他的压力测量技术更加精确和稳定。主要特性在于硅在其断裂点之前完全弹性，完美的力学特性为传感器带来一个高品质的谐振，其频率稳定性不受产品内电子特性的影响。由于谐振传感器充分利用硅的机械性能，具有很低的滞后和重复性错误以及非常好的长期稳定性能。温度特性的可重复型使其可以被修正。这些方面的特性一起造就了沟槽刻蚀谐振式压力传感器对压力和温度变化下的极高的性能。
 

备注：2010年第16卷第8期026