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机床和半导体制造设备的精密测量技术(I)2010年07月28
   栏目: 市场分析
  文章内容

作者:朴喜载(韩国)  金永三(韩国)

单位:朴喜载:汉城大学机械设计系  教授
      
金永三:SNU Precision株式会社代表理事

文章编号:1006-883X200001-0001-05

 

摘要:本文介绍机动球杆系统的基本原理、特点和用途。该系统可在几小时内完成机床和半导体制造设备的三维空间误差评估。

关键词:机床、设备、评价、误差、测量。

 

The Precise  Measurement Technology of Machine and Semiconductor Manufacturing Equipment

Abstract: This paper introduces the principle, characteristic and use of Kinematic Ball Bar System. The System can accomplish analyzing and identifying 3-D measurement error coming form machine tools and semiconductor manufacturing equipment in hours.

Keywords: Machine , Measurement , Error, Kinematic Ball Bar System.

 

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 备注:2000年第6卷第1期

 
文章编号:提交者:contsys点击次数:【1428
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